Observation of surface morphology on the cleaved (110) face of GaAs layer. MBE 成長後の Annealing 処理に よって、 cleaved-edge growth 法で 成長させた GaAlAs の (110) 面上 に原子スケールで、平らな面を.

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Observation of surface morphology on the cleaved (110) face of GaAs layer. MBE 成長後の Annealing 処理に よって、 cleaved-edge growth 法で 成長させた GaAlAs の (110) 面上 に原子スケールで、平らな面を 作り出すのに成功した。 (Jpn.J.Appl.Phys.part 2 40 (2001)) 平坦面以外に (110) 面上では特徴 的な表面模様が観察された。 Fish-like : 1ML deep pits (0.2 nm) Boat-like: 2~3ML high islands Arrowheads: 2 ML deep pits

実験の概要 表面模様中、魚に似た 形の長軸と短軸の長さ の比を算出し、統計を とる。 長軸と短軸から三角形 の面積を計算して格軸 の比と比較する。 平坦面の生成メカニズ ムの分析。

Samples used: (pos. 2): Ga23 + R3 scans (pos. 3) : Ga24 scans (pos. 3): X zone + P3-06-C Scans Scan 方法 : hackling した所から 資料の先端(長さ: 35 ~ 40mm 程度)まで同じ距離で 左右に 3 点( a,b,c) をスキャン. 800μm Ga23-01-a,b,c a b c Ga23-02-a,b,c a bc 5μm

Ga23

01-b03-c08-a 13-a15-b16-c Ga-23 Sample: (pos. 2)

Ga24

04-d 11-c 06-c 09-c 10-c 01-b Ga-24 Sample: (pos. 3)

R3 (Rescan Of Ga23)

06-b 02-b 13-b08-d 04-co 10-c R-3 Sample: (pos. 2)

Specimen: (pos. 3) Scan: X+ P3-06-6C Sample length: 4.02 mm 1 block length: 6.7 mm Manification of scan site

X 02-a06-a06-c 08-b10-a 12-b

21-B17-A15-B 01-a 03-b 07-a P3-06-c

25-a30-a27-c 30-c32-a33-c P3-06-c

CurveFit poly 4, short /X=long /D fit_short= poly(W_coef,x) W_coef={ , , , } W_sigma={0.0452,0.0889,0.0481, }

CurveFit line ratio /X=X_area /D fit_ratio= W_coef[0]+W_coef[1]*x W_coef={4.2553, } W_sigma={0.22,0.264} Coefficient values ± one standard deviation a= ±0.22 b= ± 0.264

結果と課題 ◎ Competitive growth & circular advent of surface figures: Fish (1ML deep)→Small Boat (2MLhigh) → Big Boat + River (1ML deep)→Small Fish →Big Fish+River. ◎ Mixture of two or three surface figures in the same area. ◎ Long axis vs Small axis : Certain ratio. ◎ Area vs Ratio : Big fish is fat! ◎ Formation mechanism of all these characteristic surface figures. ◎ Distribution of figures over sample surface. ◎ Observation of photoluminescence images linking to these figures.