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TMS Co., Ltd 2014. 07. 18.. Baratron GAUGE Vacuum chamber Baratron GAUGE 절대압게이지 Full scale 100Torr이하 제품은 전략물자로 구분됨. (차압게이지는 제외)

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1 TMS Co., Ltd

2 Baratron GAUGE

3 Vacuum chamber Baratron GAUGE 절대압게이지 Full scale 100Torr이하 제품은 전략물자로 구분됨. (차압게이지는 제외)

4 DMB Baratron e-Baratron DMB Baratron e-Baratron i-BARATRON® DIGITAL CAPACTIANCE MANOMETER Connector type 1. Devicenet + Analog output 2. Analog output (0~10VDC)  0.1~1000Torr  Sensor 온도 1) 0~50℃ 2) 45 ℃ 3) 80 ℃  Warmup Time 2시간 : 1~1000Torr F.S 4시간 : < 1Torr F.S Ethernet Enabled CAPACTIANCE MANOMETER Output 1.Analog: 0~10VDC 2.Digital: Ethernet 627C 628C E27C E28C 0.1~1000Torr 45°C 0.1~1000Torr 100°C 0.1~100Torr 45°C 0.1~100Torr 100°C

5 1000Torr제품경우 Trip Relay로 대기압센서대신 활용 가능 No Heating Terminal Block RoHS No Heating Terminal Block Relay RoHS 622C 623B No Heating 15 Pin D Sub RoHS 626C 45도 Heating 15 Pin D Sub RoHS 627D 100도 Heating 15 Pin D Sub RoHS 628D 45도,100도 중 선택 9 Pin D Sub RoHS 629 Etch process 45도 Heating 15 Pin D Sub RoHS E27D Etch Process 100도 Heating 15 Pin D Sub RoHS E28D Etch Process 45도,100도 중 선택 9 Pin D Sub RoHS E29D 45도 Heating Trip Relay 15 Pin D Sub RoHS 624F 100도 Heating Trip Relay 15 Pin D Sub RoHS 625F 150도,200도 선택 Relay 선택 15 Pin D Sub RoHS 631D Baratron GAUGE-600 ETCHETCH CVDCVD

6 Baratron GAUGE-700 No Heating 다양한 Fitting 0.5% of RDG RoHS 722B 45도 Heating 다양한 Fitting 727A 100도 Heating 다양한 Fitting 728A Gauge Gas, Liquid 대기압이 reference임 1.4~204 bar RoHS Output: DC, 4~20mA 740C 절대압게이지 Gas, Liquid 진공이 reference임 10Torr~3,000Psia 1% of RDG RoHS Output: DC, 4~20mA 750C

7 Baratron GAUGE-Dual Range Dual Range 45도 Heating 15 Pin D Sub Relays RoHS D24F Dual Range 100도 Heating 15 Pin D Sub Relays RoHS D25F Dual Range 45도 히팅 15 Pin D Sub RoHS D27F Dual Range 100도 히팅 15 Pin D Sub RoHS D28F 낮은 압력대의 진공값을 더 정확하게 읽기 위한 게이지임. Full scale보다 낮은 진공압력을 2배, 5배,10배중 선택된 비율만큼 진공압력값을 display함. : 2개의 출력

8 Baratron Manometer -고온 환경하에서 Baratron Manometer -고온 환경하에서 121A 150도환경에 사용 가능하도록 만든 절대압력 측정 Capacitance manometer Full Scale : 1~25,000 Torr Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC 221B 150도환경에 사용 가능하도록 만든 차압용 Capacitance manometer Full Scale : 10~25,000 Torr Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC

9 Baratron Manometer -Harsh Environments Baratron Manometer -Harsh Environments 220DA 내부를 45도 히팅하는 절대압용 Capacitance manometer -harsh Environments Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.15%of RDG 1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA 220DD 내부를 45도 히팅하는 차압용 Capacitance manometer -harsh Environments Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.15%of RDG 1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA

10 Baratron GAUGE-800 Micro-Baratron® Pressure Transducers TYPE 872B FLOW-THROUGH TYPE 870B SINGLE ENDED 1000 Torr to 3000 psia Output: 0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA

11 차압 GAUGE 226A BARATRON® DIFFERENTIAL CAPACITANCE MANOMETER 차압 측정 영역 1000~0.2Torr F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC or 4~20mA 228A 2개의 Trip Relay F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC

12 High Accuracy Baratron GAUGE 공정 및 계측 분야에 높은 정밀도가 요구시 Resolution 1×10 -6 of F.S (<=0.12% of RDG) 690A 절대압 게이지 sensor 45도 히팅 0.1~25,000Torr 670B필요 698A 차압 게이지 sensor 45도 히팅 0.1~1,000Torr 670B필요 590A 절대압 게이지 70도 히팅 - 이물발생공정 0.1~25,000Torr 670B필요 670B 좌측 게이지와 같이 사용되는 Display Unit 120AA 절대압 게이지 45도히팅 0.1~25,000Torr 0~10VDC출력 120AD 고정밀도 차압게이지 0~10VDC출력

13 기타 Baratron GAUGE 230E Pressure Transmitter 10~25,000 Torr 100℃ 환경에서도 동작 출력: 4~20mA 430E 1~1,000 Torr 100~500 psia 0~50℃ NEMA4 housing 출력: 4~20mA Explosion Proof GENERAL PURPOSE PRESSURE TRANSMITTER

14 Vacuum/Atmospheric Switch ModelType 41BSingle-ended gaugeReference- ATM : atmospheric switching, Loadlock chamber 42BFlow-through gauge 51BSingle-ended gaugeReference-Vacuum :soft pumping, gas box switching, and safety interlocks 52BFlow-through gauge Precise control Superb set point accuracy and repeatability:0.5% of F.S. increases process control Fast response switching: 20 msec Excellent long term stability Pressure Switches F.S range: 10 Torr through 500 psi

15 High Accuracy Gauge in High Vacuum SPINNING ROTOR GAUGE SYSTEM SRG-3 높은 정확도 장기간 안정성

16 Vacuum chamber 10Torr~5×10^-4 TMP 10Torr~5×10^-3 750C 722,724, 728A 722,724, 728A Baratron GAUGE-적용 41B 대기압 Pressure Switch : 대기압확인용 Vacuum PUMP 51B 진공 압력 Switch : softpumping,interlock용


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